場發射電子探針室主要設備是日本電子JEOL的JXA-iHP200F型場發射電子探針（EPMA）。實驗室位于明德樓D106。

電子探針的功能主要是進行微區成分分析，可進行定性分析Qual、定量分析Quant、線分析Line、面分析Map；在不損耗試樣的情況下，電子探針通常能分析直徑和深度不小于1微米範圍内、原子序數4~92的所有元素；但是對原子序數小于12的元素，其靈敏度較差。主要應用于鋼鐵、汽車、電子零件和電池材料等各種工業領域，作為研究開發和品質保證的分析工具被廣泛使用。JXA-iHP200F型場發射電子探針的主要性能指标如下：

分析元素範圍：WDS：5B（4Be*）~92U；EDS：4Be~92U

X射線範圍：波長範圍WDS：0.087~9.3nm；能量範圍EDS：20keV

譜儀數：WDS：4個（最多5個）；EDS：1個

加速電壓：1~30KV（0.1KV steps）

探針電流範圍：1pA~3μA

探針電流穩定性：±0.3%/h，±1.0%/12h*2

二次電子像分辨率（觀察模式）：2.5nm

二次電子像分辨率（分析模式）：20nm（10kV，10nA）；50nm（10kV，100nA）

掃描放大倍數：×40~300000（WD 11mm）

掃描圖像分辨率：最大5120×3840

主要應用：